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光学平台隔振当苦衷项

THA4系列抗冲击型自动减振器

颁布功夫:2022.06.01 阅读量:4022

无论何种激光利用,为维持光路不变,振动隔离和桌面阻尼的沉要性都是再强调也不为过。

一套复杂的光学系统是否不变,在很大水平上取决于光学平台和隔振腿的机能。随着利用的不休丰硕,光学系统的设计正变得愈发复杂,也为光路不变性带来更大挑战——若是装置使用不正确,即便最美满的隔振规划也难以起到成效。

光学平台最沉要的作用是提供动态刚度(Dynamic rigidity)。光路的不变性重要受桌面长轴方向上点对点的相对运动影响。这些相对运动产生于桌面上搭建的设备、空气调节(HVAC)系统以及其他声音起源。削减这些振动的最佳规划是在起源处即行断绝,好比在设备与桌面间搁置柔性垫、为排气管增长挡板或使用隔声罩。必要把稳的是,光学平台只管提供了相对不变的环境,但不能齐全阻止来自桌面自身的振动,从而影响桌面上的其他设备。

光学元件的形变是系统不不变的第二大起源。即便将光学平台视作刚体,该刚体的固有振动依然会触发光学调整架的天然振动,导致光路不不变。为了定量模仿光学调整架在典型尝试室环境中可能产生的位移,我们将1英寸调整架固定于6英寸镜柱上,并在光学平台表表模仿类似于桌面上的电扇、电动位移台或其他声学扰动的宽带噪声。调整架的位移由一个不产生任何质量效应的激光测振仪来丈量。尝试使用了自动阻尼光学平台,同时丈量结构阻尼和自动阻尼的运动,以便充分地体现阻尼桌面的减振成效。


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桌面自动阻尼隔振
典型尝试室环境中,宽带噪声可能造成光学调整架的位移量,很大水平上取决于其地点光学平台的阻尼机能。

对于上述1英寸调整架和6英寸镜柱的系统,调整架受激时会产生800 nm的位移。若是使用SmartTable和自动阻尼,位移会降至10到20 nm(见上图)。由于该系统中镜柱、调整架和桌面的固有频率相近,因而振幅较大,桌面的阻尼效应得到突显。只管现实尝试时光学元件的固有频率各不一样,但该了局的确说了然光学元件的选择和装置必要与桌面环境作整体思考,以优化光路不变性。

一个测试桌面作使劲与调整架水平位移关系的模仿尝试示意图

接着我们测试了0.5英寸镜柱和镜座的组合,总高6英寸,如上图所示。镜柱顶端安设了一个质量近似于通常调整架的加快度计,以监控水平方向上的位移;桌面上装置的力传感器则用来丈量模仿作使劲,进而得出作使劲转化为相对位移的关系方程。下图可见,无论自动阻尼开启或关关,镜柱/镜座在天然振动模式下城市产生两个共振峰(红色)?糇远枘崮芄灰衷熳烂娴墓逃姓穸,但镜柱/镜座的天然振动并不能被有效隔离。


上述尝试不仅验证了桌面自动阻尼的成效,同时也证实了光学元件的振动对光路不变性存在影响。削减这些振动的方式蕴含:一、尽可能降低光路高度,二、对活络度高的光学元件使用最不变的镜柱和夹具,三、尽量将这些高精度元件固定于光学平台中央,四、若是必须使用较高的光路,最好用直径较大的镜柱来支持光学件。

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桌腿气浮隔振


系统不变性不只受高频振动的影响,低频振动的滋扰同样必要器沉,尤其在系统组件的频率左近。气浮隔振腿的重要作用除了支持,还体此刻能有效削减传递到桌面的低频地表振动。

平台装置当苦衷项

设计隔振系统的最后一步——在做出最终订购决定之前,还必要思考复杂的装置成分。

隔振平台系统能不能运载到尝试室指定地位,是肯定要慎沉思考的。与工程人员、同事、或装配工一起走一遍装置路线——接管点、电梯、走廊、门口甚至窗口(若是必要使用起沉机),能够发现可能存在的物流问题,并对系统规划做出必要的批改。

其次必要把稳的是尝试室的配套设备,蕴含电压电流、照明、干燥气体供给(用于支持维持系统)以及空气调节系统。若是不足清洁的干燥气体,则必要使用高质量的空气压缩机。不洁或湿润的气体味极大地影响气浮隔振系统,不合划定的电源会产生不用要的噪声,甚至精密电子设备的浪涌。

最后必要指出,装置工作必要由采办过相应保险的专业人士使用正确的工具来实现,决不能出现十几人抬起桌面让其他数人移动桌腿的情况。地震多发区的尝试室设备选择更必要思考构筑物的防震需要。

总而言之,只管现代的振动隔离系统已经极大地提升了光电类利用的不变性,它们并非能解决所有问题的灵丹妙药。光路不变性是由整个振动传递“结构回路”决定的,蕴含支持结构、光机械件、光学元件和运动节造系统。综合思考振动环境、削减声音的影响、移除平台上和平台左近不用要的振动起源、以及使用正确的隔振平台装置步骤,都是提升隔振机能必要把稳的事项。

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